第十四届国际真空科学与工程应用学术会议2019-08-04论文

本文主要研究内容作者韩峰,赵凡,孙坤,张世伟,王德喜（2019）在《真空蒸发法在危险工业废水减量化处理中的应用》一文中研究指出：针对机械加工企业产生的各类危险工业废水必须集中处...

本文主要研究内容作者阮智伟,王展威,郝明,陈树雷,姜玥,刘坤,巴德纯（2019）在《基于DSMC对磁控溅射镀膜设备的流场分析与研究》一文中研究指出：在磁控溅射镀膜工艺中的真空环...

本文主要研究内容作者胡强,刘坤,孙飞,杜雪峰,赵新颖（2019）在《低温磁控溅射制备的柔性AZO复合薄膜性能的优化》一文中研究指出：AZO薄膜具有成本低廉、资源利用率高、适应于...

本文主要研究内容作者邓文宇,孙宝玉,段永利,齐丽君（2019）在《双侧串联涡旋干式真空泵内气体流动的CFD模拟》一文中研究指出：近年来,计算流体力学(CFD,Computati...