氮掺杂二氧化钛薄膜论文

本文主要研究内容作者杨勇,汪冰洁,姚婷婷,李刚,金克武,沈洪雪,王天齐,杨扬,彭赛奥,甘治平,马立云（2019）在《氮气流量和退火处理对射频磁控溅射氮掺杂二氧化钛薄膜性能的影响》一文中研究指出：常温下利用TiO2陶瓷靶采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了N掺杂TiO2薄膜。利用光学轮廓仪、X射线衍射...