半导体技术2019年06期论文

本文主要研究内容作者朱轩民,张静,马雪丽,李晓婷,闫江,李永亮,王文武（2019）在《NH3等离子体钝化对Al2O3/SiGe界面的影响》一文中研究指出：研究了不同条件的非原位...

本文主要研究内容作者钱盛亚,杨瑞霞,兰飞飞（2019）在《物理气相传输法制备层状MoS2薄膜》一文中研究指出：以化学气相沉积（CVD）方法在蓝宝石衬底上沉积一层较厚的MoS2膜...