导读:本文包含了合金靶材论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:钼铌合金,轧制工艺,密度,氧含量
合金靶材论文文献综述
党晓明,安耿,李晶,路晓涛,王培华[1]（2019）在《钼铌合金靶材轧制工艺研究》一文中研究指出通过调整轧制工艺研究了不同钼铌合金板烧结坯的密度、氧含量、坯料开轧温度和变形量等因素对其轧制成形的影响。结果表明:钼铌合金的氧含量在0.100%～0.126%时,氧元素不是引起晶界表面能下降的主要因素;烧结坯中大量孔洞、裂纹等缺陷导致轧制中轧板容易出现分层、开裂、起皮甚至断裂。(本文来源于《热加工工艺》期刊2019年11期）
张德胜,张勤,杨洪英[2]（2019）在《Au、Ge对银基合金靶材坯料耐硫化性能的协同作用》一文中研究指出采用自主设计的带有气氛保护、冒口保温、磁力搅拌和强制冷却功能高频熔炼-铸造-搅拌一体化设备制备银基合金靶材坯料。研究了Au、Ge协同作用对银基合金靶材坯料的组织和性能的影响。结果表明,随着Au、Ge添加量的增加,银基合金靶材微观组织细化,二次枝晶变短,抗硫化性提高,且在Au、Ge添加量均为1.0%(质量分数)时,银基合金靶材坯料的耐硫化性能最佳。随着Au Ge添加量增加,元素偏析现象加剧,在Agl.5Cu0.1Y1.5Au靶材的晶界处出现少量的富集区,使靶材的抗硫化和耐蚀性有所下降。(本文来源于《稀有金属材料与工程》期刊2019年03期）
高岩,贺昕,刘晓[3]（2018）在《大规模集成电路用高纯铜及铜合金靶材研究与应用现状》一文中研究指出随着大规模集成电路制程向高密集度的方向发展,器件的特征尺寸不断缩小,集成度越来越高。在90nm后随着布线的宽度变窄,高纯铜及铜合金靶材的应用成为一个研究热点。本文通过多个专利及相关文献的检索,总结了高纯铜及铜合金靶材的分类,分析了高纯铜的纯度、合金元素的种类以及分布对高纯铜靶材溅射性能的影响,展望了今后大规模集成电路靶材的发展趋势。(本文来源于《材料导报》期刊2018年S2期）
张德胜,张勤,于云鹤,杨洪英[4]（2018）在《钇对银基合金靶材坯料微观组织及性能的影响》一文中研究指出采用光学显微镜、SEM、EDS、硬度测试、电阻率测试和耐硫化测试等方法,研究了Y的不同添加量对银基合金靶材坯料显微组织和性能的影响.结果表明:Y添加量较少时,Y主要以固溶体的形式存在,可以起到细化晶粒的作用,而Y添加量过多时,会有第二相析出.当Y添加量为0.1%时材料综合性能最好,此时银基合金靶材坯料的硬度值较高,电阻率较低,耐硫化性能最佳.(本文来源于《东北大学学报(自然科学版)》期刊2018年06期）
付振华,李继文,魏世忠,耿宏安,刘刚[5]（2018）在《铌钽合金化对钼合金靶材组织与薄膜结构的影响》一文中研究指出采用模压和真空热压烧结工艺制备了钼铌和钼钽两种钼合金靶材,以薄膜半导体-液晶显示器(TFTLCD)无碱玻璃为衬底,磁控溅射沉积了不同厚度的钼薄膜。利用场发射扫描电镜和共聚焦显微镜表征了靶材显微组织、元素面分布以及薄膜微观形貌。借助四探针测试仪测试了薄膜的方阻值,研究了铌和钽合金化对钼薄膜导电性的影响。研究结果表明:铌、钽合金化均可细化靶材晶粒,且靶材晶粒均无明显择优取向。钼铌和钼钽两种合金靶材平均晶粒尺寸分别为70.02μm和34.43μm。相同溅射工艺参数下,钼铌和钼钽合金薄膜厚度分别约为200 nm和240 nm。钼铌合金薄膜平均方阻为15.68Ω/□,钼钽合金薄膜平均方阻为22.00Ω/□。钽合金化后,钼靶材晶粒细化更为显着,晶粒尺寸分布更加均匀,薄膜沉积速度更快,且表面粗糙度较小,导致钼钽合金薄膜方阻增长较大。(本文来源于《河南科技大学学报(自然科学版)》期刊2018年03期）
高杰[6]（2017）在《钼铌合金靶材制备及其溅射薄膜性能研究》一文中研究指出本文以钼粉、铌粉为原料,采用热压烧结工艺制备Mo-10Nb合金靶材,并将Mo-10Nb靶材用于直流磁控溅射镀膜,分析Mo-10Nb靶材的制备工艺对溅射薄膜性能与微观形貌的影响。通过研究不同热压工艺参数和Nb粉含量对Mo-10Nb合金靶材致密度和微观形貌的影响,探索合适的热压工艺参数,从而制备出高纯、高致密和晶粒均匀的Mo-10Nb合金靶材,并探讨了制备工艺对磁控溅射薄膜性能的影响。本实验采用X射线衍射仪、四探针电阻仪、AFM和SEM等分别表征溅射薄膜的择优取向、结晶性、导电性能、表面粗糙度、截面形貌及薄膜厚度,继而确定Mo-10Nb合金靶材的热压温度与薄膜性能之间的关系。研究结果表明:采用热压烧结工艺比无压烧结工艺更容易获得高致密、结晶性好和Nb元素分布均匀的Mo-10Nb合金靶材,且Mo-10Nb合金热压烧结的致密化过程与McClelland(麦克莱兰德)热压方程吻合,表明热压烧结温度和压力是Mo-10Nb合金致密化的关键因素。同时,通过研究加入不同含量Nb粉对Mo-Nb合金靶材的物相、致密度、微观形貌等的影响,得出10 wt%的Nb粉加入有利于靶材的致密化和晶粒细化。此外,对Nb粉含量为10 wt%时,不同热压烧结温度制备的Mo-10Nb合金靶材进行磁控溅射,分析其溅射薄膜的性能,结果表明:热压烧结温度为1820℃,保温时间为2 h,压力为15 MPa时,制备的Mo-10Nb合金靶材,其溅射薄膜的结晶性较好,择优取向为(110)晶面,表面粗糙度为87 nm,方阻值为0.1?(14)?。(本文来源于《北方民族大学》期刊2017-03-01）
张权[7]（2016）在《电弧离子镀用AlTi合金靶材应用关键技术研究》一文中研究指出靶材是制备PVD涂层的重要原材料,靶材的纯度、密度和组织结构直接影响靶材的烧蚀和涂层的成分、结构及使用性能。随着气相沉积技术的快速发展,新的靶材制备技术不断出现,靶材质量和性能也取得了显着提高。但物理气相沉积镀膜在真空等离子体下进行,靶材中的原子通过等离子体作用有一个再组织和生长的过程,受到磁场、电场、温度、化学反应等复杂因素的影响,通常意义上评价靶材的指标(纯度、密度、晶粒尺寸等)并不能准确描述其使用效果。如何将靶材的一些参数与涂层性能对应起来,提供涂层生产终端切实可行的靶材方案,是靶材走向高端化发展必须解决的一个关键问题,但是目前对靶材的系统研究报道相对较少。本论文采用电弧离子镀技术,分别使用德国知名品牌GfE的AlTi合金靶材,国产品牌安泰(AT&M)Ti颗粒尺寸为200μm、125μm、75μm以及35μm的A1Ti合金靶材(Al:Ti=67at%:33at%)制备AlTiN涂层。通过对靶面弧斑运动轨迹、涂层的物相结构、力学性能、真空退火、摩擦磨损进行系统的研究,将靶材参数与涂层性能对应起来。主要内容包括：1.分别确定靶电流、沉积气压以及基体偏压叁项基本工艺参数,从而制备出性能较好的AlTiN涂层。2.分别使用AT&M和GfE AlTi合金靶材(Al:Ti=67at%:33 at%)在不同电磁场电压下制备AlTiN涂层。研究两种靶材在不同电磁场强度下制备的涂层性能差异。结果表明不同电磁场强度下靶面的弧斑运动状态不同,导致所沉积的涂层性能发生改变。实验发现靶材热导率是影响涂层性能的关键因素,而靶材热导率则与制备靶材的金属粉末颗粒尺寸有关。3.分别使用不同Ti颗粒尺寸的AT&M AlTi合金靶材在相同工艺参数下沉积AlTiN涂层并进行对比。进一步验证Ti颗粒尺寸的不同对沉积AlTiN涂层性能的影响。实验结果表明靶材的Ti颗粒尺寸的不同对沉积时靶面的弧斑运动产生影响,导致沉积涂层在性能上产生差异。在相同的靶材成分下,Ti颗粒尺寸更小的靶材所沉积的涂层表现出更优异的表面质量和力学性能。4.靶材参数与涂层性能的对应关系表现为：制备靶材的金属粉末颗粒尺寸大小对靶材的热导率产生影响,靶材的热导率的差异导致沉积时靶面弧斑的尺寸和运动状态不同,涂层的性能受到靶面弧斑的尺寸与运动状态的影响。(本文来源于《广东工业大学》期刊2016-05-01）
朱琦,陈良斌,王娜,江峰[8]（2015）在《真空热压烧结制备Mo-Na合金靶材的研究》一文中研究指出本文采用真空热压烧结技术制备Mo-Na合金靶材,研究了烧结温度对Mo-Na合金的微观组织、密度、硬度及Na含量的影响。结果表明,在1 200℃、1 500℃及1 600℃烧结温度下制备的Mo-Na合金都具有晶粒细小、分布均匀的组织。Mo-Na合金的密度、硬度均随着烧结温度的升高而提高,1 600℃下烧结的Mo-Na合金具有最高的密度和硬度,分别为9.8 g/cm3和HRA 53.2。但是烧结温度的升高却加重了合金中Na元素的损失,在1 600℃下合金中Na含量仅为0.4%(质量分数)。(本文来源于《中国钼业》期刊2015年06期）
王一晴,闻明,郭俊梅,管伟明[9]（2015）在《半导体工业用镍铂合金靶材的制备及结构研究》一文中研究指出采用熔炼、均匀化退火处理及温轧技术制备出NiPt合金靶材。采用金相、扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)等手段对NiPt合金在制备过程中的结构变化进行了研究。同时也研究了靶材结构与靶材溅射后表面形貌之间的关联性。研究表明,均匀化处理对NiPt合金获得择优取向具有明显影响,合金经过铸造、均匀化、轧制等工艺,其硬度分别为292、218、439,可分别形成(200)织构、(311)织构、(200)+(220)织构。靶材微观结构与溅射后表面形貌均匀性具有关联性。(本文来源于《贵金属》期刊2015年04期）
黄伟嘉,陈远星,刘志坚,黄中越[10]（2015）在《镍铬合金靶材裂纹产生原因分析》一文中研究指出研究全返回料真空冶炼镍铬合金靶材产品内部产生裂纹的原因.通过金相显微镜、电子扫描显微镜等仪器进行观察检测,认为夹杂物是产生裂纹的主要因素,并通过加强对入炉料的清理和改进冶炼工艺等措施,减少和避免废品出现,改善材料质量,提高产品成材率,增强产品市场竞争力.(本文来源于《南方金属》期刊2015年04期）
合金靶材论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
采用自主设计的带有气氛保护、冒口保温、磁力搅拌和强制冷却功能高频熔炼-铸造-搅拌一体化设备制备银基合金靶材坯料。研究了Au、Ge协同作用对银基合金靶材坯料的组织和性能的影响。结果表明,随着Au、Ge添加量的增加,银基合金靶材微观组织细化,二次枝晶变短,抗硫化性提高,且在Au、Ge添加量均为1.0%(质量分数)时,银基合金靶材坯料的耐硫化性能最佳。随着Au Ge添加量增加,元素偏析现象加剧,在Agl.5Cu0.1Y1.5Au靶材的晶界处出现少量的富集区,使靶材的抗硫化和耐蚀性有所下降。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
合金靶材论文参考文献
[1].党晓明,安耿,李晶,路晓涛,王培华.钼铌合金靶材轧制工艺研究[J].热加工工艺.2019
[2].张德胜,张勤,杨洪英.Au、Ge对银基合金靶材坯料耐硫化性能的协同作用[J].稀有金属材料与工程.2019
[3].高岩,贺昕,刘晓.大规模集成电路用高纯铜及铜合金靶材研究与应用现状[J].材料导报.2018
[4].张德胜,张勤,于云鹤,杨洪英.钇对银基合金靶材坯料微观组织及性能的影响[J].东北大学学报(自然科学版).2018
[5].付振华,李继文,魏世忠,耿宏安,刘刚.铌钽合金化对钼合金靶材组织与薄膜结构的影响[J].河南科技大学学报(自然科学版).2018
[6].高杰.钼铌合金靶材制备及其溅射薄膜性能研究[D].北方民族大学.2017
[7].张权.电弧离子镀用AlTi合金靶材应用关键技术研究[D].广东工业大学.2016
[8].朱琦,陈良斌,王娜,江峰.真空热压烧结制备Mo-Na合金靶材的研究[J].中国钼业.2015
[9].王一晴,闻明,郭俊梅,管伟明.半导体工业用镍铂合金靶材的制备及结构研究[J].贵金属.2015
[10].黄伟嘉,陈远星,刘志坚,黄中越.镍铬合金靶材裂纹产生原因分析[J].南方金属.2015