直流磁控溅射技术论文

本文主要研究内容作者张敏,杜鹃（2019）在《磁控溅射低温制备高电导高透明氢掺杂薄膜》一文中研究指出：通过分析直流磁控溅射技术低温制备高电导和高透明的氢掺杂AZO薄膜实验,明确...