热化学气相沉积论文

本文主要研究内容作者段春艳,韩会丽（2019）在《热化学气相沉积法制备Sb掺杂ZnO纳米线的特性分析》一文中研究指出：本文以热化学气相沉积法在Si(100)基板上生长出Sb掺杂...