脉冲磁控溅射论文

本文主要研究内容作者杨晨,李伟（2019）在《车用316L不锈钢表面脉冲磁控溅射CrAlN涂层组织和摩擦性能分析》一文中研究指出：采用高功率脉冲与脉冲直流磁控溅射相结合的方法,...