高功率脉冲磁控溅射

脉冲直流磁控溅射论文-李林儒,王振玉,左潇,刘林林,黄美东
导读:本文包含了脉冲直流磁控溅射论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:高功率脉冲磁控溅射,TiSiN涂层,纳米复合,低应力脉冲直流磁控溅射论文文献综述李林儒,王振...
电磁场特性论文-崔岁寒,吴忠振,肖舒,陈磊,李体军
导读:本文包含了电磁场特性论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:高功率脉冲磁控溅射,筒形阴极,电磁场,沉积效率电磁场特性论文文献综述崔岁寒,吴忠振,肖舒,陈磊,李...
共溅射论文-王铁钢,蒙德强,李柏松,赵彦辉,刘艳梅
导读:本文包含了共溅射论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:高功率脉冲磁控溅射,脉冲直流磁控溅射,叁靶共溅射,纳米复合涂层共溅射论文文献综述王铁钢,蒙德强,李柏松...