高功率磁控溅射论文

本文主要研究内容作者张炜鑫,巩春志,温家瑞,马玉山,刘海波,何涛,岳玲,田修波（2019）在《倍频微脉冲复合高功率磁控溅射TiCN薄膜结构及性能研究》一文中研究指出：如何提高高...