非晶硅锗薄膜论文

本文主要研究内容作者陈哲权,何勇,方中,潘绪超,何源（2019）在《基于非制冷微测辐射热计的非晶硅锗薄膜电学特性研究》一文中研究指出：采用等离子体增强化学气相沉积方法（PECV...