电容薄膜真空规论文

本文主要研究内容作者王呈祥,韩晓东,李得天,成永军,孙雯君,李刚（2019）在《采用环形感压薄膜的MEMS电容薄膜真空规设计》一文中研究指出：感压薄膜的结构改良能有效改善MEM...