氮化硅论文
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CVD法氮化硅薄膜制备及性能
中芯国际集成电路制造（天津）有限公司氮化硅薄膜是一种重要的精细陶瓷薄膜材料，它既是优良的高温结构材料，具有良好的抗冲击、抗氧化和高强度等特点；同时具有很多优良的性能，如硬度高、...![：Ceramic and Ceramic-polymer Composite Membranes Based on Silicon Nitride Hollow Fibers论文]()
：Ceramic and Ceramic-polymer Composite Membranes Based on Silicon Nitride Hollow Fibers论文
本文主要研究内容作者（2019）在《CeramicandCeramic-polymerCompositeMembranesBasedonSiliconNitrideHollow...![徐晓虹：Gd2O3对O’-Sialon/Si3N4复相陶瓷结构与性能的影响论文]()
徐晓虹：Gd2O3对O’-Sialon/Si3N4复相陶瓷结构与性能的影响论文
本文主要研究内容作者徐晓虹,米凯峰,吴建锋,周炀,金昊,朱光意（2019）在《Gd2O3对O’-Sialon/Si3N4复相陶瓷结构与性能的影响》一文中研究指出：以α-Si3N...![杨飞跃：Si3N4泡沫陶瓷的制备过程影响因素及复合化研究进展论文]()
杨飞跃：Si3N4泡沫陶瓷的制备过程影响因素及复合化研究进展论文
本文主要研究内容作者杨飞跃,赵爽,陈国兵,陈俊,杨自春（2019）在《Si3N4泡沫陶瓷的制备过程影响因素及复合化研究进展》一文中研究指出：Si3N4泡沫陶瓷具有低密度、低热导...
