磁控溅射论文

本文主要研究内容作者张猛,付宏远,孙艳艳,赵洋,王辉（2019）在《氧氩比对ZnO薄膜微观结构及光电特性的影响》一文中研究指出：采用JGP300型超高真空磁控溅射系统,在蓝宝石...

本文主要研究内容作者杨仲秋（2019）在《工作气压对磁控溅射薄膜的影响》一文中研究指出：结合近几年的相关研究报道,归纳总结磁控溅射法制备薄膜过程中,工作气体压力变化对膜层沉积速...

本文主要研究内容作者陈志伟,郎咸忠,唐斌,朱熠奇,吴钦,蒋美萍（2019）在《大面积银微纳光栅的制备及其表面等离子体共振传感特性研究》一文中研究指出：提出了一种基于普通CD-R...