掺杂薄膜论文

本文主要研究内容作者李如永,段苹,崔敏,王吉有,原安娟,邓金祥（2019）在《后退火对射频磁控溅射法制备Mg掺杂Ga2O3薄膜性质的影响》一文中研究指出：本文采用双靶材交替溅射...

本文主要研究内容作者岳天峰,刘嘉琪,文峰,马艳平,丁春华,姜宏（2019）在《基底负偏压对CO2气相反应溅射制备C∶TiO2薄膜性能的影响研究》一文中研究指出：采用射频磁控溅射...