薄膜厚度论文

本文主要研究内容作者谭学强（2019）在《磁控溅射纳米Cu膜织物导电性能研究》一文中研究指出：磁控溅射法具有薄膜厚度可控、纯度高、低温高速、附着力好、操作控制方便、装置性能稳定...