本文主要研究内容
作者张金迪,高健,谭宇韬,张揽宇,赵光同,万宇（2019）在《高速宏微运动平台及精密定位方法》一文中研究指出：围绕微电子精密制造封装装备的高性能要求,在宏微复合定位技术的基础上,提出一种新型宏微复合精密定位平台及其精密定位方法。首先利用ADAMS/view对平台进行动力学分析与仿真,明确弹簧刚度与预紧力因素对系统性能的影响,使得符合封装装备高频往复的工作要求。然后提出宏微复合运动的PID切换控制方法,实现平台的控制系统开发,搭建其宏微复合定位平台,并开展其定位性能的实验。结果表明,在速度为0.25 m/s,加速度为5 g的20 mm运行条件下,平台能够实现40 nm的定位精度且稳定时间小于105 ms。
Abstract
wei rao wei dian zi jing mi zhi zao feng zhuang zhuang bei de gao xing neng yao qiu ,zai hong wei fu ge ding wei ji shu de ji chu shang ,di chu yi chong xin xing hong wei fu ge jing mi ding wei ping tai ji ji jing mi ding wei fang fa 。shou xian li yong ADAMS/viewdui ping tai jin hang dong li xue fen xi yu fang zhen ,ming que dan huang gang du yu yu jin li yin su dui ji tong xing neng de ying xiang ,shi de fu ge feng zhuang zhuang bei gao pin wang fu de gong zuo yao qiu 。ran hou di chu hong wei fu ge yun dong de PIDqie huan kong zhi fang fa ,shi xian ping tai de kong zhi ji tong kai fa ,da jian ji hong wei fu ge ding wei ping tai ,bing kai zhan ji ding wei xing neng de shi yan 。jie guo biao ming ,zai su du wei 0.25 m/s,jia su du wei 5 gde 20 mmyun hang tiao jian xia ,ping tai neng gou shi xian 40 nmde ding wei jing du ju wen ding shi jian xiao yu 105 ms。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自制造技术与机床的张金迪,高健,谭宇韬,张揽宇,赵光同,万宇，发表于刊物制造技术与机床2019年08期论文，是一篇关于宏微复合平台论文,音圈电动机论文,压电陶瓷论文,双定位方法论文,动力学论文,制造技术与机床2019年08期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自制造技术与机床2019年08期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
标签：宏微复合平台论文; 音圈电动机论文; 压电陶瓷论文; 双定位方法论文; 动力学论文; 制造技术与机床2019年08期论文;