本文主要研究内容
作者丁丽梅,李世中,段荣杰,杨乐（2019）在《MEMS加速度开关的冲击失效仿真分析与试验》一文中研究指出：针对微机电系统(MEMS)器件的低可靠性问题,以MEMS加速度开关为研究对象,利用ANSYS有限元分析软件,采用"扭梁-悬臂梁-质量块"结构作为MEMS加速度开关主要作用部分,建立了开关的有限元模型。对MEMS加速度开关3个方向上的跌落冲击情况进行了有限元分析;通过仿真计算分析,得到了器件在冲击载荷作用下的最大量级,分析了导致加速度开关不能作用的主要失效模式;利用马歇特锤击实验平台进行了冲击试验,得到了加速度开关冲击失效的极限量级,证明了MEMS加速度开关的主要失效模式为断裂失效。研究结果表明:针对MEMS加速度开关主要失效模式的仿真分析结果可靠,与试验验证结论相符。
Abstract
zhen dui wei ji dian ji tong (MEMS)qi jian de di ke kao xing wen ti ,yi MEMSjia su du kai guan wei yan jiu dui xiang ,li yong ANSYSyou xian yuan fen xi ruan jian ,cai yong "niu liang -xuan bei liang -zhi liang kuai "jie gou zuo wei MEMSjia su du kai guan zhu yao zuo yong bu fen ,jian li le kai guan de you xian yuan mo xing 。dui MEMSjia su du kai guan 3ge fang xiang shang de die la chong ji qing kuang jin hang le you xian yuan fen xi ;tong guo fang zhen ji suan fen xi ,de dao le qi jian zai chong ji zai he zuo yong xia de zui da liang ji ,fen xi le dao zhi jia su du kai guan bu neng zuo yong de zhu yao shi xiao mo shi ;li yong ma xie te chui ji shi yan ping tai jin hang le chong ji shi yan ,de dao le jia su du kai guan chong ji shi xiao de ji xian liang ji ,zheng ming le MEMSjia su du kai guan de zhu yao shi xiao mo shi wei duan lie shi xiao 。yan jiu jie guo biao ming :zhen dui MEMSjia su du kai guan zhu yao shi xiao mo shi de fang zhen fen xi jie guo ke kao ,yu shi yan yan zheng jie lun xiang fu 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自机电工程的丁丽梅,李世中,段荣杰,杨乐，发表于刊物机电工程2019年02期论文，是一篇关于微机电系统论文,加速度开关论文,冲击载荷论文,失效仿真论文,锤击试验论文,机电工程2019年02期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自机电工程2019年02期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
标签：微机电系统论文; 加速度开关论文; 冲击载荷论文; 失效仿真论文; 锤击试验论文; 机电工程2019年02期论文;