导读:本文包含了椭偏检测论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:椭偏光谱仪,石英晶体,光轴方位,菲涅尔公式,位相差,波片
椭偏检测论文文献综述
郭文静[1]（2015）在《基于椭偏的石英晶体光轴检测技术研究》一文中研究指出椭偏光谱学,全称椭圆偏振光谱学,英文全称(Spectroscopic Ellipsometry),缩写为SE,是目前一种应用广泛的光谱技术,测量原理以椭圆偏振光的测量为基础,因此而得名。光波在入射到样品表面时,会同样品发生相互作用,如反射、透射或者散射,在这种相互作用下,光波的偏振态将会发生变化,而椭偏测量技术就是利用对这种变化的测量,来进一步获取样品的一些光学特性(如折射率、厚度、介电常数等)。因其以具有某一偏振态的光波作为测量的探针,测量时无需其他应力直接接触样品表面,故而在测量的过程中,不会对样品产生损伤,此外,椭偏测量技术可同时获取光波偏振态改变中,振幅变化和相位改变两个参量,故而保证了其测量结果具有相当高的测量精度,同时也为材料光学性质的研究带来了极大的便利。综合种种优点,使得椭偏光谱测量技术在诸如物理、机械、材料、电子、天文、化学、生物、天文、矿物等各个领域的应用中,大放光彩。本文的主要内容主要包括以下几个方面,首先较为系统的阐述了目前椭偏测量技术在国内外的发展历史及研究现状,并对目前常用的各类椭偏仪进行了介绍,此外对椭偏测量技术的发展趋势有一个合理的展望。第二章节部分重在介绍偏振光学部分的理论基础,包括晶体中寻常光、非寻常光波法线方向以及折射率的确定,菲涅尔反射系数等内容,为后续研究的理论推导打下基础,在第叁章节部分紧接着对椭偏测量的主要原理做了一个简要的介绍,第四章节和第五章节也就是本论文工作的核心内容部分,随着偏光技术的发展,石英晶体材料常被用来制作成各类光学仪器的基本器件,具有广泛的应用,而光轴方向则是石英晶体材料的一个重要参量,作者通过大量的文献调研以及较为全面的理论探究,总结并提出了对石英晶体光轴方位进行标定的较为可行的判定方法。第四章节是通过对反射模式下椭偏测量结果的分析讨论,提出的一种新的判定经加工处理后的石英晶体,其光轴是否平行或垂直于抛光面,以及如存在微小误差,其偏转方位以及偏转角度如何确定的判定方法。该方法具有测速快、精度高、可实施在线检测等优点。接着在第五章节则利用椭偏仪的透射测量模式,通过绘制石英波片位相差随旋转角度的变化规律曲线,得到了一个判定石英波片光轴方位的方法。(本文来源于《曲阜师范大学》期刊2015-03-10）
马智超,徐智谋,彭静,孙堂友,陈修国[2]（2014）在《基于光谱椭偏仪的纳米光栅无损检测》一文中研究指出本文制备了硅基和光刻胶两种材料的纳米光栅,利用光谱椭偏仪对该纳米结构的光栅进行了测量,随后利用建立的拟合模型对其测量数据进行了拟合,结果证明了运用该仪器进行纳米光栅结构无损检测的可行性,在入射角60?,方位角75?的测量条件下,纳米结构关键尺寸、侧壁角等叁维形貌参数的测量精度最大可达99.97%,该技术对于无损检测有着一定的推动意义.(本文来源于《物理学报》期刊2014年03期）
徐鹏[3]（2013）在《椭偏仪在集成电路检测中的应用》一文中研究指出椭圆偏振测量仪是一种用于研究和测定薄膜以及材料光学性质的重要工具。其工作原理为：以一束偏振光入射到待测样品的表面，让其与待测样品之间发生相互作用(譬如反射、透射和散射等)，这些相互作用将会使其自身的偏振状态发生变化，通过检测该偏振光偏振状态的变化，便可确定或者计算出待测样品的厚度以及光学参数等信息。椭偏仪测量分辨率可以达到0.1的重复精度，而其准确性主要通过系统中的偏振器的物理信息校准保证；因此，系统校准方法决定了椭圆偏振的准确性。另一方面，随着时间和环境的变化，尤其在工业生产环境中，其系统的物理信息和校准参数会产生一定的变化，需要重复性的修正和校准才能够保证椭偏仪处于理想的状态。因此，快速、简单、准确的系统校准方法是维持椭圆偏振仪高效准确的关键环节。本文研究了一种基于标准测量参考系（标准样品）的椭圆偏振光谱仪系统参数校准方法，该方法简单、快速。该方法的基本思路是：如果被测样品的相关信息(折射率n,吸收系数k,厚度d)已知，则可以通过测量光强变化的傅里叶系数，采用最小二乘法原理反演出此时椭偏仪系统的信息（即校准参数:起偏器方位角P，检偏器方位角A，波片起始旋转角Cs，波片位相延迟δ,系统入射角θ0）。然后，再利用校准得到的系统参数和测量未知样品得到的光强傅里叶系数，进行数据的拟合分析，由此求得未知样品的参数值。本文以单波长椭偏仪为基础，对校准方法进行了模拟分析和验证。进行了2至6个标准样品参与校准的实验及该方法的可行性验证，解决和分析了基于该方法下多解的问题和对于待校准参数入射角θ0的灵敏性分析。并且，将该方法用于实际测量，考证校准后的测量效果，最大误差为2.6。在光谱椭偏仪方面，为了说明该方案的优点和实用性，本文对该种方案做了实验验证，将其用于薄膜检测；还结合RCWA算法，用于测量集成电路结构的叁维形貌特征。通过本文的研究工作，发明了一种更适用于集成电路在线检测设备的快速修正的方法。并且此方法的灵敏性和准确性相比传统方法也更加优异。通过集成电路薄膜样品和CD样品的测量，验证了创新校准方法在集成电路工艺检测环节的有效性。(本文来源于《电子科技大学》期刊2013-04-20）
靳刚[4]（2013）在《椭偏成像生物传感器肿瘤标志物谱临床检测研究》一文中研究指出世界卫生组织最新公布的数据显示2010年全球新增癌症病例预计将达到1200万例,全球因癌症死亡的人数预计将达到700万人,2010年癌症已经超过心脏病成为全球头号杀手。开发有效的检测技术,对早期诊断和防治具有重要现实意义。目前认为只有早期诊断、及时治疗,才能够提高治愈和有效延缓生命。(本文来源于《第八届全国光生物学学术会议论文摘要集》期刊2013-01-11）
罗一丹,牛宇,靳刚[5]（2008）在《小型光学椭偏成像仪应用于无标记蛋白质芯片检测》一文中研究指出本文探索使用一种小型光学椭偏成像仪器进行无标记蛋白质芯片数据的采样和分析,同时阐述该设备的原理和结构,及成像显示条件和采样结果,进一步递推出蛋白质芯片表面膜层吸附和蛋白质分子之间相互作用的结果。说明简易的小型化设备能够有效地用于蛋白质芯片的检测,为蛋白质芯片向实用化普及、现场检测方向发展,提供了条件。(本文来源于《2008中国仪器仪表与测控技术进展大会论文集（Ⅰ）》期刊2008-06-01）
赵子彦,靳刚,王战会,李新华[6]（2000）在《光学椭偏成像法用于内分泌激素检测的研究》一文中研究指出本文将报导内分泌激素检测的一种新方法,即采用一种物理光学法—光学椭偏显微成像技术,利用内分泌激素和它的抗体的特异结合自然属性,并结合生物固体芯片技术而实现的.光学椭偏显微成像技术是近几年发展起来的一种新型超薄膜及表面结构显示技术,它的工作原理是将传统的光学椭偏技术和CCD摄像、计算机采样(本文来源于《第五届全国光生物学学术讨论会论文摘要集》期刊2000-08-01）
椭偏检测论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文制备了硅基和光刻胶两种材料的纳米光栅,利用光谱椭偏仪对该纳米结构的光栅进行了测量,随后利用建立的拟合模型对其测量数据进行了拟合,结果证明了运用该仪器进行纳米光栅结构无损检测的可行性,在入射角60?,方位角75?的测量条件下,纳米结构关键尺寸、侧壁角等叁维形貌参数的测量精度最大可达99.97%,该技术对于无损检测有着一定的推动意义.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
椭偏检测论文参考文献
[1].郭文静.基于椭偏的石英晶体光轴检测技术研究[D].曲阜师范大学.2015
[2].马智超,徐智谋,彭静,孙堂友,陈修国.基于光谱椭偏仪的纳米光栅无损检测[J].物理学报.2014
[3].徐鹏.椭偏仪在集成电路检测中的应用[D].电子科技大学.2013
[4].靳刚.椭偏成像生物传感器肿瘤标志物谱临床检测研究[C].第八届全国光生物学学术会议论文摘要集.2013
[5].罗一丹,牛宇,靳刚.小型光学椭偏成像仪应用于无标记蛋白质芯片检测[C].2008中国仪器仪表与测控技术进展大会论文集（Ⅰ）.2008
[6].赵子彦,靳刚,王战会,李新华.光学椭偏成像法用于内分泌激素检测的研究[C].第五届全国光生物学学术讨论会论文摘要集.2000