张松:基于HTCC电路的MEMS复合同振型水听器设计论文

张松:基于HTCC电路的MEMS复合同振型水听器设计论文

本文主要研究内容

作者张松,董自强,胡天宇,苗峻,李旭,朱林,唐立赫,张晓桐,王大宇(2019)在《基于HTCC电路的MEMS复合同振型水听器设计》一文中研究指出:矢量水听器是感知水下声信息的重要设备,基于MEMS微加工工艺研制了一种复合同振型矢量水听器,将MEMS矢量水听器芯片与压电陶瓷环在结构上组合在一起,能够同时拾取水下目标信号的标量信息和矢量信息。内部集成了HTCC调理电路,能够有效降低传感器耦合噪声,提高检测信号的信噪比。通过驻波管计量,MEMS复合式水听器的工作频率范围为20~1 000 Hz,矢量振速通道灵敏度为-170.5 d B@1 k Hz,标量声压通道灵敏度为-174.7 d B@1 k Hz。通过内嵌电路,信噪比提高了15 d B。

Abstract

shi liang shui ting qi shi gan zhi shui xia sheng xin xi de chong yao she bei ,ji yu MEMSwei jia gong gong yi yan zhi le yi chong fu ge tong zhen xing shi liang shui ting qi ,jiang MEMSshi liang shui ting qi xin pian yu ya dian tao ci huan zai jie gou shang zu ge zai yi qi ,neng gou tong shi she qu shui xia mu biao xin hao de biao liang xin xi he shi liang xin xi 。nei bu ji cheng le HTCCdiao li dian lu ,neng gou you xiao jiang di chuan gan qi ou ge zao sheng ,di gao jian ce xin hao de xin zao bi 。tong guo zhu bo guan ji liang ,MEMSfu ge shi shui ting qi de gong zuo pin lv fan wei wei 20~1 000 Hz,shi liang zhen su tong dao ling min du wei -170.5 d B@1 k Hz,biao liang sheng ya tong dao ling min du wei -174.7 d B@1 k Hz。tong guo nei qian dian lu ,xin zao bi di gao le 15 d B。

论文参考文献

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自无线电工程的张松,董自强,胡天宇,苗峻,李旭,朱林,唐立赫,张晓桐,王大宇,发表于刊物无线电工程2019年09期论文,是一篇关于同振型论文,矢量水听器论文,高温共烧陶瓷内嵌电路论文,无线电工程2019年09期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自无线电工程2019年09期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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