导读:本文包含了光栅计量论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:基片,铟钢,平面反射式,计量圆光栅
光栅计量论文文献综述
陈赟,高胜英,张晰,韩庆阳[1]（2019）在《基于铟钢的单层膜平面反射式计量圆光栅的制作》一文中研究指出为了解决目前玻璃基片计量圆光栅无法适应振动强度大、冲击力强等恶劣环境的要求,需要改进制作计量圆光栅的基片材料。首先对光学树脂、铟钢等材料的特性进行比较,得出铟钢作为基底具有制作计量圆光栅的可行性;其次,结合现有的镀膜复制工艺,通过控制膜料质量,在蒸镀真空度1.0×10~3 Pa,蒸发距离为200mm,做出膜厚220nm的单层膜铟钢基片;最后,参照光刻复制工艺,通过控制腐蚀时间确定线宽深度的工艺参数下制作出铟钢基片的单层膜平面反射计量圆光栅,在50倍显微镜下观察,线条陡直,用它提取出来的信号质量良好。实验表明:制作铟钢单层膜平面反射式计量圆光栅的工艺参数正确,为进一步广泛应用于精密测角仪器、光栅计量设备和精确跟踪定位设备等提供了试验基础。(本文来源于《传感技术学报》期刊2019年10期）
张晰,杨建新,陈赟,张宏胜,韩庆阳[2]（2019）在《反射式计量圆光栅自动检测系统的设计》一文中研究指出精度和均匀性是评价计量光栅的重要参数,针对反射式计量圆光栅均匀性和精度的检测,设计了一套自动检测系统,系统在原定角检验仪的基础上,增加了反射式读数系统,通过信号采集卡并配合小型编码器将传感器的信号和位置信息传给计算机,然后通过LabVIEW平台对数据进行算法处理,实现自动检测和过程控制,最终计算出圆光栅误差并将结果归档和打印输出。并对32768线的反射式计量圆光栅进行精度和均匀性实际测量,检测其精度为±0.75″均匀性为4.2%。系统测量速度快,精度高,稳定性好。简化了传统检测设备和调试步骤,实现对计量圆光栅精度和均匀性检测的自动化。(本文来源于《电子测量技术》期刊2019年02期）
汤禹[3]（2018）在《计量用高精度二维平面位相光栅的设计与制作》一文中研究指出现代测量系统无论是坐标测量机还是精密数控加工中心,都需要对系统工作台的二维方向进行精确测量与定位。对于应用最多的二维平面微位移测量系统,使用二维光栅进行测量,相较于在二维方向上分别装夹一维测量装置而言,不仅可同时对两个方向的平面微位移进行测量,而且具有精度高,结构紧凑,阿贝误差小等优点。而在二维光栅测量系统中,二维光栅是整个测量系统的核心光学元件,因此设计并制作高精度二维平面光栅具有重要意义。本文结合二维光栅的应用及光栅的相关衍射理论,开展了二维光栅的设计、制作,结合实际制作结果对设计进行了的优化,主要工作内容如下:(1)介绍了二维光栅在位移测量过程中的工作原理,建立了测量系统输出信号与表征光栅质量的技术参数之间的对应关系。(2)分析了二维光栅的衍射过程,建立了二维光栅的结构模型,开展了波长为780nm圆偏振光Littrow角入射条件下二维平面反射位相光栅的设计。针对TE、TM偏振入射光的-1级衍射光有较高的衍射效率以及良好的衍射效率均衡性这一设计目标,采用傅立叶模态法(FMM),对占空比范围为10%?50%,槽深为150nm?350nm的1200line/mm二维光栅的微结构参数进行了衍射效率计算,结果表明:当镀金光栅的占空比范围为42%?44%,槽深为210nm?220nm时,TE偏振光和TM偏振光的-1级衍射效率均在60%以上,衍射效率均衡性高于80%。(3)开展了全息法制作二维镀金光栅的研究,利用全息干涉技术、等离子刻蚀技术与真空镀膜技术制作了不同工艺条件下的二维镀金光栅,进行了衍射效率测试;将衍射效率的实测值与理论值进行对比,分析了产生误差的原因。结合实际制作的二维光栅微结构的AFM测量结果,改进了二维光栅的模型,在与实际制作工艺更相符的梯台形模型基础上对二维光栅的设计进行了优化,并给出了梯台模型下满足设计指标的工艺范围。(本文来源于《苏州大学》期刊2018-05-01）
于长江[4]（2017）在《光纤光栅传感系统的计量技术研究与传感解调系统样机实现》一文中研究指出当前,物联网技术已经成为推动智慧型社会进步的重要力量,传感器作为物联网技术的重要感知手段,获得了快速发展。新型传感器由于技术新颖、发展迅速,广泛地应用于智能电网、环境监测、工程监测等领域。光纤传感技术作为新型传感器的代表,由于应用时间短,技术尚需完善,许多传感器在工程领域工作几年后出现性能下降甚至失效。目前,光纤传感技术并没有形成统一的标准化,标定技术存在不足,因此研究计量与标定工作,是促进该技术应用与发展的关键。光纤布拉格光栅(FBG)是光纤传感技术的重要技术之一。FBG在制作成形后其反射谱会发生缓慢漂移,影响了传感的准确度。研究光纤光栅中心波长漂移的原因,设计长效稳定型的FBG传感器具有重要意义。同时针对光纤光栅传感解调系统样机里的解调仪的标定工作进行了改进。因此,本文主要研究内容如下:1.针对现有的FBG在使用一段时间后出现性能蜕化,首先分析了光纤光栅中心波长漂移的原因,其次对光纤光栅应力传感器中应力、温度变量交叉敏感进行了理论推导,最后提出了稳定型光纤光栅应力传感器方案,针对时间敏感性和温度敏感性进行了改进。2.当前光纤光栅传感解调系统在长期工作后,解调仪需要标定以保证解调准确。首先分析了可以作为标定的标准反射源,然后针对现有的标定工作复杂繁琐,提出了解调仪的在线标定方案。方案中设计了解调仪和光开关的接口。解调仪在正常工作时,光开关切换到工作光纤链路;当需要校准时,光开关切换到校准链路。校准链路接有稳定的已知中心波长的反射源,作为解调仪标定参考波长。3.光纤光栅传感解调仪控制软件的研究与设计。根据软件工程的开发流程,设计了需求分析、概要设计、详细设计、系统实现、软件测试五大部分。使用基于LabVIEW和SQL Server的软件开发平台,设计有图形界面的解调仪驱动控制软件。(本文来源于《北京邮电大学》期刊2017-03-12）
查杭[5]（2016）在《计量用高精度全息柱面位相光栅制作技术研究》一文中研究指出柱面光栅作为一种计量光栅广泛应用于接触式表面轮廓测量仪中。随着超精密机械加工向亚微米、纳米级精度发展,对接触式表面轮廓测量仪提出了大量程和高分辨率要求。而全息柱面位相光栅作为该测量仪的标准器,决定着仪器的分辨率,柱面光栅的质量技术参数及其精度对接触式表面轮廓测量仪的测量准确性及测量精度有着直接影响。本文结合柱面光栅的应用及光栅的相关衍射理论对柱面光栅全息制作过程中产生的误差及柱面光栅参数误差对测量精度的影响展开了研究和分析。其主要研究内容和取得的研究成果如下:(1)分析了柱面光栅在表面形貌测量过程中的工作原理,建立了测量系统输出信号与表征光栅质量的技术参数之间的对应关系。(2)根据光栅的标量衍射理论和严格耦合波理论分别对光栅的主要参数误差如周期误差、占空比误差、槽深误差、面型误差进行了分析,明确了柱面光栅的主要误差源(周期误差、占空比误差)及相应的工艺容差范围,为高精度柱面光栅的工艺制作提供了依据。(3)建立了柱面光栅的全息记录过程中光栅线密度分布以及累积误差计算的数学模型,针对平行光(平面波)记录方式提出了分段式拼接曝光的制作方法,该方法能有效提高柱面光栅线密度分布的一致性;针对点光源(球面波)记录方式通过优化记录点位置可使柱面光栅在全长累积误差为零。(本文来源于《苏州大学》期刊2016-05-01）
徐腾寅[6]（2014）在《浅述计量光栅技术》一文中研究指出利用光栅的莫尔条纹原理,把计量光栅作为精密计量元件,广泛应用于仪器仪表及机床等方面,有利于实现测量的自动化、数字化以及动态测量,并有利于提高测量精度。本文主要从莫尔条纹原理、计量光栅系统设计、光栅细分技术等方面对计量光栅测量技术及其特点进行介绍。随着现代电子技术的发展,计量光栅技术被应用于更多更广泛的领域,并向着纳米级精度突破。(本文来源于《计量与测试技术》期刊2014年04期）
卢明腾,曹益平[7]（2013）在《计量光栅可变步长实时扫描定位FPGA实现》一文中研究指出设计一种用现场可编程逻辑门阵列FPGA实现光栅可变步长扫描实时定位控制的方法;实现在扫描台连续运动的过程中,实时同步定位触发控制。用D触发器实现对光栅信号边沿提取进而实现光栅信号细分辨向电路,在此基础上实现可变步长实时扫描控制的方案。以Verilog HDL硬件描述语言为平台实现了该电路方案。该系统可用于扫描测量控制,可变步长定位控制。(本文来源于《工具技术》期刊2013年01期）
孟景华,周彤,刘英,王文光,王晓亮[8]（2012）在《光纤布拉格光栅传感器在温度计量中的应用前景》一文中研究指出光纤布拉格光栅传感器(FBG)是波长编码传感器,它将感测到的信息转化为其响应波长的移动,即用波长编码,与光源起伏、光纤弯曲损耗、光纤连接损耗、光波偏振态无关,具有很强的抗干扰能力,可实现分布式多点实时在线传感,适用于温度、应力、应变等物理量的测量。温度传感是FBG最主要和最直接的应用之一。温度对光纤光栅反射波长的影响是由热膨胀(本文来源于《中国计量》期刊2012年10期）
王胜磊,刘福,雷正伟,张永伟[9]（2012）在《角度计量中叁光栅光学系统应用分析》一文中研究指出在目前的角度计量工作中普遍采用光电轴角编码器作为测角器件,而光栅系统由于具有分辨率高、稳定性好、出错率低、环境适应性强等特点而得到了计量界的认可。结合计量工作误差处理严谨、不确定度来源分析透彻的要求,在分析了叁光栅光学系统原理的基础上,提出了针对其正弦输出信号的自适应滤波方法。(本文来源于《现代电子技术》期刊2012年19期）
王晓峰[10]（2012）在《电解加工对金属计量光栅表面粗糙度影响的研究》一文中研究指出金属计量光栅通常采用电解加工的方式制作,由于具有传统K9玻璃、浮法玻璃和树脂基片等不可替代的优势,以其100%的透过率,和抗震、防尘、耐高温、耐腐蚀、重量轻的特性,被广泛应用在矿业、冶金、建材、化工、军工等行业中。电解加工是用电解方法使金属阳极溶解,可以获得较高的刻线准确度,但有时粗糙度有所下降。本文主要探讨电解加工对金属计量光栅表面粗糙度的影响,为提高金属计量光栅的表面质量提供机理参考。(本文来源于《长春理工大学学报(自然科学版)》期刊2012年03期）
光栅计量论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
精度和均匀性是评价计量光栅的重要参数,针对反射式计量圆光栅均匀性和精度的检测,设计了一套自动检测系统,系统在原定角检验仪的基础上,增加了反射式读数系统,通过信号采集卡并配合小型编码器将传感器的信号和位置信息传给计算机,然后通过LabVIEW平台对数据进行算法处理,实现自动检测和过程控制,最终计算出圆光栅误差并将结果归档和打印输出。并对32768线的反射式计量圆光栅进行精度和均匀性实际测量,检测其精度为±0.75″均匀性为4.2%。系统测量速度快,精度高,稳定性好。简化了传统检测设备和调试步骤,实现对计量圆光栅精度和均匀性检测的自动化。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
光栅计量论文参考文献
[1].陈赟,高胜英,张晰,韩庆阳.基于铟钢的单层膜平面反射式计量圆光栅的制作[J].传感技术学报.2019
[2].张晰,杨建新,陈赟,张宏胜,韩庆阳.反射式计量圆光栅自动检测系统的设计[J].电子测量技术.2019
[3].汤禹.计量用高精度二维平面位相光栅的设计与制作[D].苏州大学.2018
[4].于长江.光纤光栅传感系统的计量技术研究与传感解调系统样机实现[D].北京邮电大学.2017
[5].查杭.计量用高精度全息柱面位相光栅制作技术研究[D].苏州大学.2016
[6].徐腾寅.浅述计量光栅技术[J].计量与测试技术.2014
[7].卢明腾,曹益平.计量光栅可变步长实时扫描定位FPGA实现[J].工具技术.2013
[8].孟景华,周彤,刘英,王文光,王晓亮.光纤布拉格光栅传感器在温度计量中的应用前景[J].中国计量.2012
[9].王胜磊,刘福,雷正伟,张永伟.角度计量中叁光栅光学系统应用分析[J].现代电子技术.2012
[10].王晓峰.电解加工对金属计量光栅表面粗糙度影响的研究[J].长春理工大学学报(自然科学版).2012