曹玲玲:多晶硅产品中碳质量分数的影响因素及控制措施论文

曹玲玲:多晶硅产品中碳质量分数的影响因素及控制措施论文

本文主要研究内容

作者曹玲玲,蔡延国,宗冰,魏东亮,吴巧芸,曹岩德,安军林,马婷,王体虎(2019)在《多晶硅产品中碳质量分数的影响因素及控制措施》一文中研究指出:通过对多晶硅各生产工艺过程中碳元素来源、分离提纯、转化分布等情况进行分析,找出控制硅粉中碳质量分数,优化提纯工艺参数等措施来控制氯硅烷中碳质量分数从而控制产品多晶硅中的碳质量分数,同时严格控制氢气中甲烷质量分数也可以降低产品中碳质量分数、提升产品质量。

Abstract

tong guo dui duo jing gui ge sheng chan gong yi guo cheng zhong tan yuan su lai yuan 、fen li di chun 、zhuai hua fen bu deng qing kuang jin hang fen xi ,zhao chu kong zhi gui fen zhong tan zhi liang fen shu ,you hua di chun gong yi can shu deng cuo shi lai kong zhi lv gui wan zhong tan zhi liang fen shu cong er kong zhi chan pin duo jing gui zhong de tan zhi liang fen shu ,tong shi yan ge kong zhi qing qi zhong jia wan zhi liang fen shu ye ke yi jiang di chan pin zhong tan zhi liang fen shu 、di sheng chan pin zhi liang 。

论文参考文献

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自现代化工的曹玲玲,蔡延国,宗冰,魏东亮,吴巧芸,曹岩德,安军林,马婷,王体虎,发表于刊物现代化工2019年07期论文,是一篇关于多晶硅论文,碳质量分数论文,产品质量论文,现代化工2019年07期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自现代化工2019年07期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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