导读:本文包含了全息光刻技术论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:微纳光子结构,激光全息光刻,光子晶体,超材料
全息光刻技术论文文献综述
王霞,吕浩,赵秋玲,张帅一,谭永炎[1]（2016）在《激光全息光刻技术在微纳光子结构制备中的应用进展》一文中研究指出微纳光子结构研究随着光子学、半导体物理学及微加工技术的发展而逐渐蓬勃开展,并在其结构、理论、制备技术等方面取得了系列进展。受限于目前的微加工技术水平,要成功制备大尺度、高质量的光子材料仍然存在着一定挑战。激光全息光刻技术作为一种简便快捷的微结构制作技术已经发展成为一种经济快速制作大面积微纳超材料及光子晶体模板的重要手段。介绍了激光全息光刻技术的原理,详细阐述了该技术在制作叁维面心立方、木堆积结构、金刚石结构光子晶体以及光学周期类准晶、手性超材料、周期性缺陷结构等微纳光子结构中的应用研究进展。激光全息光刻技术成功制作微纳光子结构为光子材料在更多领域的广泛应用提供了基础和方法。(本文来源于《光谱学与光谱分析》期刊2016年11期）
杨婉文[2]（2016）在《电子束光刻全息技术创造更高级别的光学防伪标签》一文中研究指出我们常说的"光学防伪标签"一般是指全息标识。日常生活中,我们在身份证、护照、纸钞等很多物品上都能看到全息防伪标识的影子,它们也许是透明的,也许是银色的,也有金色的。银色全息标识最受市场欢迎,因为在银色基材上制作的全息防伪元素最容易被肉眼辨识。除了印度由于受传统文化影响更喜欢金色全息标识外,其他亚洲国家使用最多的也都是银色全息标识。全息标识之所以被广泛应用(本文来源于《标签技术》期刊2016年02期）
[3]（2015）在《适用集成电路片上微电池问世3D全息光刻技术打造》一文中研究指出通过结合3D全息光刻和2D光刻技术,美国伊利诺伊大学厄巴纳—香槟分校的科学家日前开发出一种适用于大规模集成电路的高性能3D微电池。研究人员称,这种微型高能电池具有极其优异的性能和可扩展性,为人们提供了无限的想象空间,有望让很多设备小型化应用成为现实。相关论文发表在美国《国家科学院学报》上。负责此项研究的伊利诺伊大学材料与工程学教授保罗·布劳恩说,由(本文来源于《新材料产业》期刊2015年07期）
王小龙[4]（2015）在《适用集成电路的片上微电池问世》一文中研究指出科技日报北京5月12日电（王小龙）通过结合3D全息光刻和2D光刻技术，美国伊利诺伊大学厄巴纳—香槟分校的科学家日前开发出一种适用于大规模集成电路的高性能3D微电池。研究人员称，这种微型高能电池具有极其优异的性能和可扩展性，为人们提供了无限的想象空间，(本文来源于《科技日报》期刊2015-05-13）
杨达[5]（2015）在《基于全息光刻技术的图像加密研究》一文中研究指出随着科技的发展与互联网技术的普及,信息安全的隐患不断出现,人们对于信息交流的安全性也越来越高。图像加密及防伪技术作为信息安全中的一项核心内容,已成为一项国际性前沿课题,本项研究就是在该背景下展开的。论文的主要研究内容有：(1)对当前基于光学原理的图像加密技术和全息光刻加密技术进行了详细介绍、归纳与总结。(2)使用基于分数梅林变换的光学图像加密算法,对目标图像加密,完成计算机仿真实验。对加密算法的抗统计、抗噪声、抗剪切、安全性等进行分析,结果表明该算法对一般常见的攻击具有良好的抵御效果。(3)在此基础上,本文把光学图像加密算法与全息光刻加密技术结合。把待加密图像,通过基于分数梅林变换的算法进行加密为密文图像,把密文图像用全息光刻微缩的加密手段,模拟到一张光刻样本图像中,并用无掩模全息光刻机对该样本图像进行全息光刻胶板的制作,通过对制作的光刻胶板进行实验分析,提取样本图像中的密文图像,对提取的密文图像进行解密还原,最后得出结果,验证了光学图像加密技术与全息光刻技术的组合的可行性,该组合提高了全息光刻商标的防伪力度,对于全息防伪有着良好的应用前景。(本文来源于《昆明理工大学》期刊2015-04-01）
李海博[6]（2009）在《激光全息光刻技术研究制作可见光波段禁带光子晶体》一文中研究指出光子晶体是具有光子带隙结构的人工微结构,作为可以控制光子运动行为的新材料,可类比于电子信息载体半导体硅,因之被科学家喻为二十一世纪光子信息时代的“光子硅”。在最近十几年来吸引了物理学、材料科学等领域广大科技工作者的极大研究兴趣。不同于自然界中广泛存在的电子信息载体半导体硅,光子晶体一般是由人工制作而得。受限于目前人类微加工技术水平,要成功制备大尺度、高质量的光子晶体是一普遍难题,尤其是制作应用范围较广的光通讯波段或可见光波段的光子晶体仍然存在着很大挑战。目前,激光全息光刻技术作为制作微结构的一种方法,已经被成功运用在光子晶体微结构模板的制作上。本论文研究工作,主要运用激光全息干涉原理,设计模拟二维、叁维光学晶格,并且创新研究了全息干涉晶格点阵从二维到叁维的简易空间变换,这对实验制作可见光波段的光子晶体起到了很重要的理论导向作用。在此理论指导下,我们开展了实验研究,不仅成功制作了光子禁带位于光学波段的的叁维光子晶体,而且禁带位置在可见光范围内可调。本论文主要研究工作可概括为以下几个方面:1.介绍了激光全息干涉原理,干涉场光学晶格模型是进行全息光刻微制作的理论基础。设计编译了计算机模拟程序,对空间干涉光学晶格进行了理论计算模拟。2.通过编程,计算机模拟了多种二维周期和准周期结构的光学晶格;巧妙变换光路构型,创新实现了光学晶格从二维到叁维的简易空间变换,新的叁维结构是平面二维周期或准周期结构与垂直方向上周期结构的复合结构;3.以非共面十束光干涉系统为例,调节干涉光束参数,对入射光的偏振、入射角度、曝光量等因素的变化对光学晶格结构的变化影响进行了理论模拟,这些研究工作对实验成功制作起重要的指导意义。4.采用氩离子激光器出射的488nm激光,在SU-8环氧树脂中制作了叁维复合周期光子晶体;利用扫描电镜SEM和光谱测量系统进行实验结果表征。实验结果与理论模拟的光学晶格符合很好,所制作的样品在可见光波段具有光子禁带。分析发现光子禁带随垂直方向上的周期变化而变化,并较好的符合了理论计算结果。通过改变相干光偏振角度,制作了层状光子晶体,较好地符合理论模拟的光学晶格结构。(本文来源于《青岛科技大学》期刊2009-06-07）
张冬梅[7]（2007）在《基于全息光刻及软刻蚀技术制备二维光子晶体模板》一文中研究指出光子晶体作为一种新型人工电磁介质的出现，将为光子学及信息产业的发展开创新的领域。光子晶体巨大的应用前景令世界很多着名实验室在近十年来掀起了光子晶体制作的研究热潮，已经成为光学领域一个非常重要的研究方向。本文主要研究利用激光全息法结合光聚合制备不同周期的二维正叁角形光子晶体模板，结合软光刻工艺实现对光子晶体结构的反。激光全息法的特点是利用多束激光相互干涉产生的空间全息图案，图案中的光强极大值点就形成晶格点阵，通过光与物质的相互作用，曝光显影之后就可以在合适的感光材料上记录全息图样，从而形成周期有序微结构模板。本论文的工作概括为以下几点：1．概述激光全息结合光聚合微制作技术的研究进展以及软刻蚀工艺的研究进展，介绍光源的特点，光聚合材料及弹性材料PDMS的特点及工作原理。2．根据全息理论分析模拟出制作特定结构和特定周期的光栅和二维光子晶体模板所需的干涉强度分布，计算出相干光束的光学参数，特别分析了偏振特性及光强阈值对于干涉图案的影响，优化选择偏振特性及光强阈值设计出结构均匀，对比度好的干涉图案——正叁角晶格点阵。3．设计完成制作二维光子晶体模板的光学系统的搭建。4．利用激光全息法依次制作不同周期的光栅和二维正叁角形光子晶体模板，记录处理实验数据，根据实验结果分析影响光子晶体模板质量的因素。5．利用PDMS实施软光刻工艺，以制备好的光栅及光子晶体模板为主模，将周期性结构反转到PDMS上，对PDMS进行适当的处理压印光刻胶可以得到更小周期的光子晶体模板。6．改变全息光刻的干涉图案，在SU8胶上制备出孔状的光子晶体模板。本文最后对完成的工作进行了总结，并对该课题的研究工作进行了展望。(本文来源于《浙江大学》期刊2007-05-08）
任智斌,姜会林,付跃刚,张磊,田继文[8]（2006）在《微柱透镜阵列的全息-光刻胶热熔制作技术》一文中研究指出为改善微柱透镜阵列的制作技术、消除光刻工艺对光刻掩模版的依赖,研究了利用全息-热熔技术制作微柱透镜阵列的新方法,即首先采用了全息技术进行曝光,然后利用光刻胶热熔技术在K9玻璃基底上制作出了面形良好的微柱透镜阵列。实验结果表明,进行全息曝光并显影后,能够在光刻胶表面产生良好的正弦阵列表面结构,之后采用光刻胶热熔技术可将光刻胶的正弦阵列结构转变为微柱透镜阵列,且实验结果良好。(本文来源于《微细加工技术》期刊2006年04期）
宋登元,王小平[9]（2000）在《激光全息光刻技术及其应用》一文中研究指出论述了激光全息光刻技术的基本原理、发展状况和在制备衍射光栅及场发射平板显示器等光电子器件方面的应用。(本文来源于《半导体技术》期刊2000年02期）
陈芬,冯伯儒,张锦,侯德胜[10]（1999）在《全内反射全息光刻技术》一文中研究指出介绍了全内反射（ＴＩＲ）全息光刻技术的发展情况、基本原理以及其中的关键技术。(本文来源于《微细加工技术》期刊1999年02期）
全息光刻技术论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
我们常说的"光学防伪标签"一般是指全息标识。日常生活中,我们在身份证、护照、纸钞等很多物品上都能看到全息防伪标识的影子,它们也许是透明的,也许是银色的,也有金色的。银色全息标识最受市场欢迎,因为在银色基材上制作的全息防伪元素最容易被肉眼辨识。除了印度由于受传统文化影响更喜欢金色全息标识外,其他亚洲国家使用最多的也都是银色全息标识。全息标识之所以被广泛应用
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
全息光刻技术论文参考文献
[1].王霞,吕浩,赵秋玲,张帅一,谭永炎.激光全息光刻技术在微纳光子结构制备中的应用进展[J].光谱学与光谱分析.2016
[2].杨婉文.电子束光刻全息技术创造更高级别的光学防伪标签[J].标签技术.2016
[3]..适用集成电路片上微电池问世3D全息光刻技术打造[J].新材料产业.2015
[4].王小龙.适用集成电路的片上微电池问世[N].科技日报.2015
[5].杨达.基于全息光刻技术的图像加密研究[D].昆明理工大学.2015
[6].李海博.激光全息光刻技术研究制作可见光波段禁带光子晶体[D].青岛科技大学.2009
[7].张冬梅.基于全息光刻及软刻蚀技术制备二维光子晶体模板[D].浙江大学.2007
[8].任智斌,姜会林,付跃刚,张磊,田继文.微柱透镜阵列的全息-光刻胶热熔制作技术[J].微细加工技术.2006
[9].宋登元,王小平.激光全息光刻技术及其应用[J].半导体技术.2000
[10].陈芬,冯伯儒,张锦,侯德胜.全内反射全息光刻技术[J].微细加工技术.1999