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摘要：PET生产流程中，缩聚反应是在高温，高真空的条件下进行的，要求缩聚系统具有“绝对”真空和密封，为此在初次开车或大修后的重新开车前，必须对缩聚系统进行真空测试。缩聚真空测试是试车工作中非常重要的一环，其结果的好坏，对PET熔体品质影响很大。若缩聚真空泄漏率超标，则不能开车，应反复检漏，直至符合要求。由此看出检漏是PET开车过程中的重中之重。所谓检漏，是指用某种手段对容器或试件的密闭性检查，目的是找出并消除漏点，保证生产稳定进行。
关键词：PET；氦检漏法；应用
引言：PET生产流程中，缩聚反应是在高温，高真空的条件下进行的，要求缩聚系统具有绝对真空和密封，为此在初次开车或大修后的重新开车前，必须对缩聚系统进行真空测试。缩聚真空测试是试车工作中非常重要的一环，其结果的好坏，对PET熔体品质影响很大。若缩聚真空泄漏率超标，则不能开车，应反复检漏，直至符合要求。由此看出检漏是PET开车过程中的重中之重。
一、氦检漏原理
公司普遍采用的是法国ALCATEL公司生产的ASM120H型检漏仪。它是基于磁场偏转质谱分析原理而工作的。在高真空的质谱分析室内，待分析气体的中性分子进入离子室（或离子源），受到加热钨丝发射出来的电子束的轰击，分子的相当一部分转为离子，然后电离的离子束通过电场被加速。分析管在磁场内，根据离子的质量（或准确的说是质荷比m/e），该磁场使离子路径按不同的半径弯曲。离子束中不同质量的离子被分成几束，每束只含相同的m/e的离子。氦离子（m/e=4）从较轻的离子（较小半径的H2+和H1+）和较重的离子（较大半径的N2+和O2+）中分离出来。由于有恒定的磁场（永久磁铁），调节加速磁场使氦离子沿特定的路径（通过膜片）撞击置于直流放大器输入端的靶子上（或称收集极）。装置里的氦离子束与氦分压成正比，根据被接收到的离子流强度，便可得到泄漏的流量值。分析室的工作原理如下图所示。
分析室的工作原理：
二、装置的气密性要求
装置在其预缩聚和终缩聚阶段需要较高的真空条件如下：第一预缩聚釜（37-R01）为10kPa；第二预缩聚釜（47-R01）为1kPa；最终缩聚釜（67-R01）为100Pa。因此，外方提供的上述各个系统的允许最大泄漏率为：第一预缩聚釜（37-R01）为374hPaL/s；第二预缩聚釜（47-R01）为187hPaL/s；最终缩聚釜（67-R01）为100hPaL/s。泄漏率的计算式为r=pV/t。式中：r为真空泄漏率/（hPaLs-1）；p为前后压差/hPa；V为被测系统的容积/L；t为保压时间/s。
三、氦检漏前的准备
下图为氦检仪控制面板，对照控制面板进行如下操作：
（一）开启分析单元
第一步，接通电源。第二步，按主线路开关：开关指示灯亮，小真空泵和分子泵启动，过几秒钟MDP加速指示灯亮，1min左右“OK”指示灯亮。第三步，使用“O”旋钮调节零点，调节到氦检指示窗剩2点红灯。
（二）泄漏率的校正
必须在氦检漏仪正常运行至少0.5h后进行。第一，将标准泄漏率的氦气瓶连接至分析单元吸入口。第二，按下3号键（放空开关），排净分析室内氦气。第三，按下8号键（回路控制开关）键。第四，缓慢打开标准漏量瓶阀，显示窗口立即有显示。第五，调节16号螺丝（氦检峰值调节螺丝），使仪表指示处于最高He指示。第六，调节灵敏度15号螺丝（分析室发射量调节螺丝），使仪表指示泄漏率与标准泄漏率相同。第七，按8号键（回路控制开关）释放它，使分析室内氦气放出与大气接通。
（三）氦检装置的气密性检查
在对被检测系统的可能泄漏点喷氦时，为确保氦气不能从氦检仪的外部进入其检测单元，保证检测结果的可靠性，需对整个氦检仪单元进行气密性检验。第一，检查：分析仪单元运行，针阀关闭，用细漏检测。第二，用大真空泵抽空整个氦检仪密闭系统，使其内部压力在小于10－2hPa。第三，缓慢打开通至分析仪单元的阀门，注意分析仪单元的压力不要超过10－5hPa，并调节指示进入仪表的中间。如果达不到这种工况，说明系统某处可能有大泄漏或蒸发液体（处理好由蒸发液体引起的冷部位），处理好泄漏处。第四，检查所有的低点和接头。地区，重新拧紧O型环垫圈。第六，检查各部位是否妥当。第七，用氦气喷枪向所有的接头、补偿器、阀门、冷却室的O型环及氦检仪上所有可能的泄漏点外部喷射氦气流。当分析仪没有检测出氦时，说明氦检仪系统是严密的，可以进行下一步工作。
三、氦检漏的实施
（一）前提条件
其一，冷态正压气密测试已通过。其二，系统内的水必须排尽。其三，系统的氦检图表已准备好，并将每个可能泄漏点编号。其四，根据氦检图，安好盲板，并将编号的点封起来，冷态点用胶带，热态点用铝带。其五，
系统已处于热态，并已热把紧。其六，准备好氦检所需辅件：对讲机一对、液氦钢瓶、常用梅花扳手、活扳手、内六角扳手各一套、铝带、胶带、液氮、小漏斗、手套、面罩、带减压装置的氦气瓶、酒精（99%）、纸巾、夹板、笔、秒表一只。
（二）反应器系统氦检步骤
第一，将已调节好的氦检仪系统连接到适宜的连接点。第二，按步骤开启氦检仪系统。第三，先用系统中EG液环泵将系统抽真空至100hPa，然后改由氦检仪的大真空泵抽。第四，用大冷却室前的节流阀调节真空到1.0～1.5hPa。第五，小心打开进气阀，调节分析室真空表指针在中间刻度。第六，按照氦检图上的编号开始逐点检查。即喷氦。第七，为了了解一个响应时间，可在离氦检仪较远的一点处喷入少量氦气，记录下从喷氦到氦检仪有显示所需时间，然后以这个时间作为判定泄漏与否的参考之一。第八，在检查表上将每个点的检查情况记录下来。第九，当发现一个漏点后，立即将封带移开，能马上方便地进行消漏的，则予以消漏，并重检。
（三）系统的最终氦检
在真空热态氦检测试完后，所有盲板取出，换上正式垫片，并且所有唇焊需完成，对于这些点，为确保不存在泄漏，还要进行最终检漏，因此必须关闭这些点前面的阀门，以上述方法检查这些点[1]。
（四）主要事项及说明
第一，冷态正压测试一定要过关。为了保险起见以及减少一些更大的麻烦，可在热态负压检漏前作一次冷态真空检漏。第二，系统性能试验后，水务必排尽，尤其在低点处如真空系统液封管盲板等等，否则即使对检漏无影响，但对保压有很大影响。第三，系统初始阶段抽真空宜用系统内的EG液环泵，若用氦检系统的大真空泵，会使泵内受到污染，换油的频率加快。第四，盲板要选用表面光洁度好的不锈钢薄板，安装应认真仔细。第五，首次氦检须逐个点检测，否则往往造成不必要的时间浪费。若系统因保压不能通过而需重检时，对有把握的点可二、三个点一起检，但不宜过多。
结论
文章首先简单介绍了氦检漏原理，接着对氦检漏前的准备以及实施过程进行了详细分析，希望能够给相关人士提供参考价值[2]。
参考文献：
[1]梁平，李杰，戴佳鑫，等．真空计的发展概况与趋势[J].真空与低温，2017，17（1）
[2]关宏伟，高伟，陈宝学．Windows环境下串口数据的高速实时采集[J].应用科技，2014，31（4）