本文主要研究内容
作者常富强,施芸城（2019）在《低气压CF4等离子体发射光谱分析》一文中研究指出：通过观察容性耦合等离子体放电中CF4等离子体光谱来对电子温度和电子密度进行诊断与分析。结果表明:在CF4等离子体中,电源功率小于180 W时,电子温度随气压的增大先升高后降低,随着功率的增大而略升高;电子密度随着气体压强增大而始终减小,随功率的增大而增大;在CF4+O2混合情况下电子温度随着O2和CF4流量比的增大而降低。
Abstract
tong guo guan cha rong xing ou ge deng li zi ti fang dian zhong CF4deng li zi ti guang pu lai dui dian zi wen du he dian zi mi du jin hang zhen duan yu fen xi 。jie guo biao ming :zai CF4deng li zi ti zhong ,dian yuan gong lv xiao yu 180 Wshi ,dian zi wen du sui qi ya de zeng da xian sheng gao hou jiang di ,sui zhao gong lv de zeng da er lve sheng gao ;dian zi mi du sui zhao qi ti ya jiang zeng da er shi zhong jian xiao ,sui gong lv de zeng da er zeng da ;zai CF4+O2hun ge qing kuang xia dian zi wen du sui zhao O2he CF4liu liang bi de zeng da er jiang di 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自东华大学学报(自然科学版)的常富强,施芸城，发表于刊物东华大学学报(自然科学版)2019年04期论文，是一篇关于射频放电论文,等离子体诊断论文,发射光谱论文,东华大学学报(自然科学版)2019年04期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自东华大学学报(自然科学版)2019年04期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。