导读:本文包含了计量圆光栅论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:基片,铟钢,平面反射式,计量圆光栅
计量圆光栅论文文献综述
陈赟,高胜英,张晰,韩庆阳[1]（2019）在《基于铟钢的单层膜平面反射式计量圆光栅的制作》一文中研究指出为了解决目前玻璃基片计量圆光栅无法适应振动强度大、冲击力强等恶劣环境的要求,需要改进制作计量圆光栅的基片材料。首先对光学树脂、铟钢等材料的特性进行比较,得出铟钢作为基底具有制作计量圆光栅的可行性;其次,结合现有的镀膜复制工艺,通过控制膜料质量,在蒸镀真空度1.0×10~3 Pa,蒸发距离为200mm,做出膜厚220nm的单层膜铟钢基片;最后,参照光刻复制工艺,通过控制腐蚀时间确定线宽深度的工艺参数下制作出铟钢基片的单层膜平面反射计量圆光栅,在50倍显微镜下观察,线条陡直,用它提取出来的信号质量良好。实验表明:制作铟钢单层膜平面反射式计量圆光栅的工艺参数正确,为进一步广泛应用于精密测角仪器、光栅计量设备和精确跟踪定位设备等提供了试验基础。(本文来源于《传感技术学报》期刊2019年10期）
张晰,杨建新,陈赟,张宏胜,韩庆阳[2]（2019）在《反射式计量圆光栅自动检测系统的设计》一文中研究指出精度和均匀性是评价计量光栅的重要参数,针对反射式计量圆光栅均匀性和精度的检测,设计了一套自动检测系统,系统在原定角检验仪的基础上,增加了反射式读数系统,通过信号采集卡并配合小型编码器将传感器的信号和位置信息传给计算机,然后通过LabVIEW平台对数据进行算法处理,实现自动检测和过程控制,最终计算出圆光栅误差并将结果归档和打印输出。并对32768线的反射式计量圆光栅进行精度和均匀性实际测量,检测其精度为±0.75″均匀性为4.2%。系统测量速度快,精度高,稳定性好。简化了传统检测设备和调试步骤,实现对计量圆光栅精度和均匀性检测的自动化。(本文来源于《电子测量技术》期刊2019年02期）
李艳茹,陈赟,张红胜,王晓峰[3]（2012）在《液态油墨制作计量圆光栅的研究》一文中研究指出液态油墨又称液态感光油墨,是一种特殊的紫外油墨,通过紫外曝光后固化,和玻璃、金属、塑料薄膜等材料有较好的附着力和牢固度,广泛应用于高精密度电路板、多层板电路的内层蚀刻、各种精密金属标牌腐蚀与电镀印制工艺等行业。但它直接用于制作计量圆光栅未见报道,通过对液态油墨复制工艺的研究,及计量圆光栅制作工艺的对比,详细介绍了液态油墨制作计量圆光栅的制作工艺,试验证明液态油墨制作计量圆光栅是可行的。(本文来源于《长春理工大学学报(自然科学版)》期刊2012年03期）
陈赟,李艳茹,张红胜[4]（2012）在《计量圆光栅的制作工艺及质量参数研究》一文中研究指出计量圆光栅是光电编码器中的核心元件,它的精度直接影响光电编码器的精度,因此,制作出高精度的计量圆光栅是研制高精度光电编码器的前提。详细介绍了计量圆光栅的制作工艺和衡量计量圆光栅质量的参数,并通过实验对计量圆光栅的制作工艺和质量参数进行了对比,为设计高精度角度传感器提供了一定的理论参考。(本文来源于《长春理工大学学报(自然科学版)》期刊2012年03期）
任周唱[5]（2012）在《基于计量圆光栅的舵偏角测量系统的研制》一文中研究指出空气动力控制类导弹依靠舵机控制系统控制舵面的偏转角度从而控制导弹的飞行姿态和飞行轨迹，因此，在导弹生产、调试以及检验过程中需要准确测量舵面的实际偏转角度（简称舵偏角）以验证舵机的控制性能。舵偏角测量系统的研制即是为了测量并记录导弹的舵偏角，从而为舵机控制系统的性能验证和评估以及后续技术改进提供重要的依据。本文在进行详细的需求分析基础上，并结合计量圆光栅在进行角度测量方面具有测量精度高、范围广、抗干扰能力强等优点，提出并论证了基于计量圆光栅的舵偏角测量系统总体设计方案，完成了舵偏角测量系统的软、硬件设计。硬件设计方面，重点阐述了系统中关键单元的设计和关键技术，并对圆光栅安装方法、参考零位设计、转动惯量设计以及光栅信号处理技术、高速缓存SDRAM技术、以太网接口通讯技术等进行了分析；软件设计方面，根据系统功能及硬件层次结构，将舵偏角测量系统软件划分为FPGA固件、单片机软件、测试计算机应用软件叁个层次，并详细介绍了各个软件的设计过程和工作流程。最后，本文针对计量圆光栅安装偏心对测量精度的影响作了详细分析，并通过同轴度标校、系统零位标校和光栅脉冲比例因子标校对舵偏角测量系统进行标校。最后，通过大量测试和评估实验证明，本文所研制的舵偏角测量系统实现了某舵面舵偏角的自动化测量，并具有设备安装方便，性能稳定，达到了测量精度优于0.05o、角度测量范围为-40o~+40o、测量的舵面转动速度高于500o/s等技术指标，系统的其它各项指标也符合设计要求和用户使用要求。(本文来源于《哈尔滨工业大学》期刊2012-07-01）
陈赟,王力锋,李艳茹[6]（2010）在《PC光学树脂计量圆光栅的制作》一文中研究指出为了解决目前计量圆光栅的玻璃基片无法适应振动强度大、冲击力强等恶劣环境的问题,提出了采取新型材料聚碳酸酯(PC)来替代玻璃作为计量圆光栅制作基片的方法。分析了PC光学树脂的透光特性、耐热性和耐化学性能,给出了清洗PC的具体配方;结合现有光刻复制工艺,研制出先胶后铬的新型复制工艺;最后,以PC作为计量圆光栅基片,在蒸镀真空度为1.2×10-3Pa,蒸发距离为150mm的条件下,采用蒸发源质量控制膜厚的镀铬工艺参数,制作出了PC光学树脂基片的计量圆光栅。在45×显微镜下观察光栅线条,结果显示,线条陡直,无龟裂,表明该新型工艺可行,工艺参数正确,为进一步研制以PC光学树脂计量圆光栅为核心元件的精密测角仪器等提供了试验基础。(本文来源于《光学精密工程》期刊2010年08期）
喻洪麟[7]（2003）在《计量圆光栅的原理、制造及检测技术研究》一文中研究指出高精度计量圆光栅，是近代光电测角仪器和测角技术的重要基础元件。以计量圆光栅为核心部件组成的光电传感器，可将输入的机械量转换成相应的数字量，与数显装置或计算机连接构成测量、控制系统，易于实现机器及仪器的自动测量、数字测量与数字控制，其应用正向着更加广泛的领域渗透。论文首先简述了计量圆光栅技术的发展历史，在此基础上对计量圆光栅技术在角度数字测量、运动比较测量、传动轴的扭转角测量等方面的应用，计量圆光栅的制造、检测及精度评定和测量系统所涉及的关键技术以及计量圆光栅的发展动向作了综述性的分析与评论，从而引出了论文的主要研究内容，即计量圆光栅的原理、制造及检测技术研究。论文对光栅莫尔条纹形成的几何原理进行了简要介绍；对计量圆光栅莫尔条纹方程、莫尔光场和几种典型的圆光栅莫尔条纹进行了概述；对计量圆光栅及测量系统的关键问题进行了分析、比较与讨论，对计量圆光栅及测量系统的判向信号及判向电路设计进行了讨论；对圆光栅测量系统莫尔信号的光电转换以及光电转换过程中的温度漂移误差和误差补偿问题进行了分析与研究，在分析现有光电转换电路不足的同时，提出了一种结构简单、精度高、能有效进行温度漂移补偿的光电转换电路，并结合实际应用的需要，给出了应用实验的结果。论文的一项重要工作是对计量圆光栅的光刻技术进行了分析讨论。首先对计量圆光栅的光刻技术进行了综述；针对接近式光刻法在微小距离下用平行光进行光刻，会产生菲涅耳洐射图像，使刻划的光栅线纹直接受到衍射的影响，严重影响光栅质量的问题，提出了相移强度迭加光刻法的原理，从理论上对该方法的可行性进行了分析讨论。在此基础上设计研制了柱面式多透镜光刻系统，并进行了光刻实验，给出了实验结果；从零位光栅的设计原理出发，对增量式圆光栅零位栅线序列设计中的问题进行了分析讨论，提出了一种计算机零位栅线序列设计方案，大大减小了计算工作量及程序编制的复杂性，采用C语言编制零位光栅的计算程序，计算出零位栅线序列，进行了光刻实验，给出了实验结果；对用于圆光栅光刻的超微粒乳胶进行了分析讨论，包括对用于圆光栅光刻的超微粒乳胶的基本性能、特性曲线、光学传递函数、影响分辨力的因素、涂布工艺等进行了分析，针对圆光栅对超微粒乳剂涂布的特殊要求，提出了一种圆光栅超微粒乳剂动态旋转涂布方法，设计了一套超微粒乳胶涂布装置，并给出了光刻实验结果；对获得圆光栅理想环形莫尔条纹的必要条件进行了讨论，在实验的基础上，提出了刻划偏心量调试误差应控制的公差范围为土1.5m。论文还对计量光栅信号质量综合评定的方法进行了讨论。在分析用谐波分析<WP=5>测定法综合评定光栅信号质量的基础上，应用小波分析的方法来评定光栅信号的质量，给出了小波分析的实验结果；对计量圆光栅分度误差的检测系统和检测方法进行了研究，用重庆大学研制的QGK405型高精度光电圆刻线机，和高速大规模可编程逻辑器件XC4013E、功能强大的SST89C58单片机以及上位PC机，构建了圆光栅分度误差的准确、快捷和实时检测系统。该系统能够对圆光栅分度误差如最大直径间隔误差，直径全中误差等数据进行采集和处理、以及误差的频谱分析、自相关分析等，对一批计量圆光栅进行了误差检测，证实了该系统的正确性。论文希望通过对计量圆光栅的原理、制造及检测技术进行较为系统的分析和研究，为计量圆光栅向着更加广泛的应用领域渗透，做出微薄的努力。(本文来源于《重庆大学》期刊2003-07-31）
费斌,徐文雄,蒋庄德,范裕健[8]（1996）在《计量圆光栅动态精度的检测技术》一文中研究指出本文探讨了计量圆光栅的精度检测问题，提出了一种新的动态检测方法。它不同于目前普遍采用的标准多面棱体静态检测法，后者只能得到圆光栅静止于圆周内若干等分位置的静态误差，而前者采用频谱分析方法、借助计算机处理，实现对圆光栅动态地、连续测量，最终得到其误差函数Ｒ（θ）。本方法采用软件修正技术剔除安装偏心等系统误差，硬件系统使用了高精度的脉冲计数电路，使得检测系统的精度大为提高，并且排除了测量过程中，环境或人为因素对检测精度的影响。本文对这种光栅动态检测技术的原理及应用进行了研究，并给出此方法的精度估计(本文来源于《仪器仪表学报》期刊1996年05期）
喻洪麟[9]（1994）在《高密度计量圆光栅的研制》一文中研究指出在高精度圆刻线机上，采用了新的高精度主轴转速数字锁相自调系统；设计了一种新型柱面“蜂窝”透镜光刻系统。研制出刻划中径≤５０ｍｍ，刻线数为３２７６８线对的高密度计量圆光栅。最大直径误差≤０．６″，均匀性误差在５％以内。(本文来源于《重庆大学学报(自然科学版)》期刊1994年06期）
喻洪麟[10]（1988）在《计量圆光栅超微粒乳剂的涂布工艺》一文中研究指出本文讨论了计量圆光栅超微粒乳剂涂布的工艺问题。在大量实验的基础上,提出了一种有效的计量圆光栅超微粒乳剂涂布方法:“动态旋转定量涂布法”,并取得了理想的实用效果。为获得大直径、高精度、高分辨率的计量圆光栅的母板,提供了一条新的途径。该方法同样适用于其它各种圆形光学元件的涂布。(本文来源于《光学仪器》期刊1988年06期）
计量圆光栅论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
精度和均匀性是评价计量光栅的重要参数,针对反射式计量圆光栅均匀性和精度的检测,设计了一套自动检测系统,系统在原定角检验仪的基础上,增加了反射式读数系统,通过信号采集卡并配合小型编码器将传感器的信号和位置信息传给计算机,然后通过LabVIEW平台对数据进行算法处理,实现自动检测和过程控制,最终计算出圆光栅误差并将结果归档和打印输出。并对32768线的反射式计量圆光栅进行精度和均匀性实际测量,检测其精度为±0.75″均匀性为4.2%。系统测量速度快,精度高,稳定性好。简化了传统检测设备和调试步骤,实现对计量圆光栅精度和均匀性检测的自动化。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
计量圆光栅论文参考文献
[1].陈赟,高胜英,张晰,韩庆阳.基于铟钢的单层膜平面反射式计量圆光栅的制作[J].传感技术学报.2019
[2].张晰,杨建新,陈赟,张宏胜,韩庆阳.反射式计量圆光栅自动检测系统的设计[J].电子测量技术.2019
[3].李艳茹,陈赟,张红胜,王晓峰.液态油墨制作计量圆光栅的研究[J].长春理工大学学报(自然科学版).2012
[4].陈赟,李艳茹,张红胜.计量圆光栅的制作工艺及质量参数研究[J].长春理工大学学报(自然科学版).2012
[5].任周唱.基于计量圆光栅的舵偏角测量系统的研制[D].哈尔滨工业大学.2012
[6].陈赟,王力锋,李艳茹.PC光学树脂计量圆光栅的制作[J].光学精密工程.2010
[7].喻洪麟.计量圆光栅的原理、制造及检测技术研究[D].重庆大学.2003
[8].费斌,徐文雄,蒋庄德,范裕健.计量圆光栅动态精度的检测技术[J].仪器仪表学报.1996
[9].喻洪麟.高密度计量圆光栅的研制[J].重庆大学学报(自然科学版).1994
[10].喻洪麟.计量圆光栅超微粒乳剂的涂布工艺[J].光学仪器.1988