导读:本文包含了平板超透镜论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:衍射极限,表面等离子体激元,亚波长成像,光刻技术
平板超透镜论文文献综述
余慕欣[1]（2015）在《基于平板超透镜的可调谐亚波长成像和光刻研究》一文中研究指出正折射率空间扮演了一个低通滤波器的角色,高空间频率信息在其内传输受到抑制。由于空间高频信息的缺失,光学成像系统的分辨率受衍射极限限制,分辨率约为照明波长的二分之一。近年来,表面等离子体激元表现出亚波长传输、近场电场增强和模式体积小等新颖光学特性受到广泛关注。基于表面等离子体耦合传输实现超衍射成像和光刻已经发展成为一个重要的研究方向。本论文以实现器件可调谐为出发点,开展了亚波长成像和基于MIM结构表面等离子体激元干涉光刻技术的研究。1.建立了实现亚波长成像的金属/介质平板结构的理论模型,分析了传统超透镜工作波长受限的物理机制；在此基础上,研究了介质薄膜对SP模式的调制机理,实现SPR波长从紫外到可见频率区间的连续可调；给出了Pode绘图原理下OTF和SP模式之间的简单对应关系。2.提出了一种工作于可见光波段,工作波长连续可调谐的超透镜。通过分析介质薄膜对表面等离子体模式的调制,给出了超透镜的亚波长成像规律。研究结果表明,通过调节透镜介质薄膜的厚度可实现波长从375～515 nm、分辨率优于λ/6、高能量透过率的亚波长成像。该超透镜结构简单,可有效地减小制备误差及表面粗糙度对亚波长成像的不利影响,降低了制造难度。该器件适用于成像、光刻及高密度数据存储等方向。3.研究了一种基于MIM结构表面等离子体干涉的亚波长光刻技术。相比于传统开放式表面等离子体干涉技术,该结构利用表面等离子体腔模共振有效地提高了光刻分辨率和曝光深度,在照明波长550nm下实现光刻分辨率22nm(λ/25)。(本文来源于《中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)》期刊2015-05-01）
王诗琴,宫云志,吕厚祥,刘贤超,郑杰[2]（2015）在《Cr光栅掩模对金属平板超透镜成像质量的影响》一文中研究指出利用有限元法并结合射频磁控溅射法制备不同厚度Cr膜的透光率的研究,模拟了金属平板超透镜近场成像特性.研究了作为"物"的Cr光栅掩模厚度、占空比对超透镜成像质量的影响.研究结果表明:成像系统的对比度随光栅掩模厚度的增加而增大,当厚度大于50 nm,达到一个稳定值;在相同掩模厚度下,成像系统的像平面随着光栅线宽W的增加而变远;在相同厚度变化范围内,W越大,对比度的变化范围(△C)和像平面位置的变化范围(△y)也都越大,但前者变化更大.研究表明:Cr光栅掩模的厚度、占空比对成像质量有明显的影响.(本文来源于《四川师范大学学报(自然科学版)》期刊2015年02期）
李恒一,王长涛,罗先刚[3]（2011）在《用于纳米光刻的超分辨缩小成像平板超透镜研究》一文中研究指出本文提出和研究了利用超分辨缩小成像平板超透镜,在i线光源波长下实现纳米尺度光刻方法。为了在超分辨透镜像面位置获得高质量的光刻图形,采用超分辨透镜-光刻胶-反射银膜的结构方式,解决由于超透镜磁场偏振传输模式带来的成像光场畸变问题,大大提高了成像质量和光场对比度。采用掩模图形结构预补偿的方法,消除超分辨透镜的倍率畸变像差影响。基于有限元电磁计算方法,数值模拟结果验证了该方法在i线光源波长下实现纳米尺度缩小成像光刻的可能性。在i线(365nm)光源波长下,得到约35nm线宽的高对比成像光场模拟结果,并分析了结构参数变化对成像光场带来的影响。(本文来源于《光电工程》期刊2011年05期）
平板超透镜论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
利用有限元法并结合射频磁控溅射法制备不同厚度Cr膜的透光率的研究,模拟了金属平板超透镜近场成像特性.研究了作为"物"的Cr光栅掩模厚度、占空比对超透镜成像质量的影响.研究结果表明:成像系统的对比度随光栅掩模厚度的增加而增大,当厚度大于50 nm,达到一个稳定值;在相同掩模厚度下,成像系统的像平面随着光栅线宽W的增加而变远;在相同厚度变化范围内,W越大,对比度的变化范围(△C)和像平面位置的变化范围(△y)也都越大,但前者变化更大.研究表明:Cr光栅掩模的厚度、占空比对成像质量有明显的影响.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
平板超透镜论文参考文献
[1].余慕欣.基于平板超透镜的可调谐亚波长成像和光刻研究[D].中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所).2015
[2].王诗琴,宫云志,吕厚祥,刘贤超,郑杰.Cr光栅掩模对金属平板超透镜成像质量的影响[J].四川师范大学学报(自然科学版).2015
[3].李恒一,王长涛,罗先刚.用于纳米光刻的超分辨缩小成像平板超透镜研究[J].光电工程.2011